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现代真空镀膜机膜厚测量及监控方法

作者: 来源: 发布于:2019-3-5 9:50:16
涂层的镀膜机控制方法是最直接的石英晶体微天平(QCM)的方法,该仪器可以直接驱动的蒸发源,通过PID控制回路传动挡板,使蒸发率。只要仪器和系统控制软件的连接,它可以控制涂层的全过程。但(QCM)的准确性是有限的,镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层质量。

此外,虽然QCM在低温下非常稳定,但温度高,它将成为对温度很敏感。在长时间的加热过程中,镀膜机很难避免传感器为敏感的区域,导致薄膜的重大错误。 光学监测是一种高精度涂层优选的监控模式,镀膜机这是因为它能准确控制膜的厚度(如果使用得当)。

精度的提高,由于许多因素,但最根本的原因是光学厚度的监测。optimalswa-i-05单一波长的光学监测系统,是间接控制,镀膜机先进的光学监测软件结合王博士的发展,有效地改善和灵敏度变化的光反应的膜厚度的减少最终的误差的理论方法,提供监测波长的反馈或传输模式的选择和广泛的。特别适用于涂布各种薄膜厚度监控包括不规则的膜。


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